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SuperViewW1國產(chǎn)三維白光干涉儀以白光干涉技術原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對各種精密器件表面進行納米級測量,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
部分技術指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光學ZOOM | 標配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物鏡塔臺 | 標配：3孔手動 選配：5孔電動 | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
| 主機尺寸（長×寬×高） | 700×606×920㎜ | |
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產(chǎn)品功能
(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；
(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；
(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；
(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
應用領域
對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。
應用范例：
SuperViewW1國產(chǎn)三維白光干涉儀具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
性能特色
1,、高精度,、高重復性
1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；
2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性,；
2,、環(huán)境噪聲檢測功能
環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調(diào)試、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。
3、精密操縱手柄
集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作。
4,、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài),，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險,。
5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。
